雙參量傳感器及其制造方法、雙參量感測系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910211494.0 申請日 -
公開（公告）號 CN109900381B 公開（公告）日 2021-09-21
申請公布號 CN109900381B 申請公布日 2021-09-21
分類號 G01K11/3206（2021.01）I;G01L1/24（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 付劍波;吳海龍;但藝;毛大龍;周焱;朱海鵬;韓燕淋;冉敏;梁鵬 申請（專利權(quán)）人 重慶京東方光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京三高永信知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 代理人 楊廣宇
地址 100015北京市朝陽區(qū)酒仙橋路10號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開了一種雙參量傳感器及其制造方法、雙參量感測系統(tǒng)，屬于傳感器技術(shù)領(lǐng)域。雙參量傳感器包括：柔性基底以及設(shè)置在柔性基底上的至少一個傳感組件；傳感組件包括第一光波導(dǎo)、光柵結(jié)構(gòu)和薄膜晶體管，光柵結(jié)構(gòu)設(shè)置在薄膜晶體管遠(yuǎn)離柔性基底的一側(cè)，光柵結(jié)構(gòu)設(shè)置在第一光波導(dǎo)的出光側(cè)；薄膜晶體管被配置為輸出源漏電流，以根據(jù)源漏電流確定雙參量傳感器的輸出電流，根據(jù)輸出電流的變化量確定溫度的變化量；光柵結(jié)構(gòu)被配置為根據(jù)第一光波導(dǎo)傳導(dǎo)至光柵結(jié)構(gòu)的光線產(chǎn)生反射光，以根據(jù)反射光的特征波長的變化量和溫度的變化量確定應(yīng)力的變化量。本申請能夠提高雙參量傳感器的測量的準(zhǔn)確性。本申請用于溫度和應(yīng)力的測量。