敏感組件應(yīng)力消除結(jié)構(gòu)及具有其的振梁加速度計

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110913158.8 申請日 -
公開（公告）號 CN113791241A 公開（公告）日 2021-12-14
申請公布號 CN113791241A 申請公布日 2021-12-14
分類號 G01P15/097（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 劉曉智;孫剛;丁凱;蘇翼;楊亞杰;李陳征 申請（專利權(quán)）人 北京自動化控制設(shè)備研究所
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 100074北京市石景山區(qū)云崗北里1號院3號樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種敏感組件應(yīng)力消除結(jié)構(gòu)及具有其的振梁加速度計，該結(jié)構(gòu)包括應(yīng)力消除主體單元、第一和第二應(yīng)力釋放外環(huán)，應(yīng)力消除主體單元具有振梁阻尼腔和擺撓性支撐阻尼腔，振梁阻尼腔與擺撓性支撐阻尼腔呈夾角設(shè)置，振梁阻尼腔用于容納設(shè)置振梁叉指組件，擺撓性支撐阻尼腔用于容納設(shè)置擺撓性支撐組件，第一和第二應(yīng)力釋放外環(huán)均設(shè)置在應(yīng)力消除主體單元的周緣，第一和第二應(yīng)力釋放外環(huán)之間形成應(yīng)力釋放腔。應(yīng)用本發(fā)明的技術(shù)方案，以解決現(xiàn)有技術(shù)中振梁加速度計的力學(xué)環(huán)境適應(yīng)性差、熱學(xué)環(huán)境適應(yīng)性差以及輸出對稱性差的技術(shù)問題。