一種翹曲度測(cè)量裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202011102068.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114370811A 公開（公告）日 2022-04-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN114370811A 申請(qǐng)公布日 2022-04-19
分類號(hào) G01B5/30（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 楊柳;孫軍;張振中;和巍巍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳基本半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 518000廣東省深圳市坪山區(qū)坑梓街道辦事處秀新社區(qū)錦繡中路14號(hào)深福保現(xiàn)代光學(xué)廠區(qū)B棟201
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種翹曲度測(cè)量裝置。所述翹曲度測(cè)量裝置包括基座、承載機(jī)構(gòu)及測(cè)量機(jī)構(gòu)。所述承載機(jī)構(gòu)包括第一支架及測(cè)量平臺(tái)。所述測(cè)量平臺(tái)上形成有第一通孔。所述第一支架的兩端分別與所述測(cè)量平臺(tái)及所述基座螺紋連接，并在所述測(cè)量平臺(tái)與所述基座之間形成一安裝區(qū)域。所述測(cè)量機(jī)構(gòu)包括測(cè)量部和從所述測(cè)量部伸出的探針，所述測(cè)量部架設(shè)于所述安裝區(qū)域內(nèi)，且使得所述探針的第一端伸出所述第一通孔。如此，無需將待測(cè)模塊倒置，即可實(shí)現(xiàn)低成本且簡(jiǎn)易測(cè)量的目的。本發(fā)明測(cè)量穩(wěn)定、成本較低且操作簡(jiǎn)單。