一種帶水汽蒸發(fā)系統(tǒng)的工藝腔室

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110799500.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113380677A 公開(kāi)（公告）日 2021-09-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN113380677A 申請(qǐng)公布日 2021-09-10
分類號(hào) H01L21/67 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 宋立祿;張海林;滕玉朋;劉國(guó)霞;吳寄浩 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 賽瑞達(dá)智能電子裝備（無(wú)錫）股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 青島晸投知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 李常芳
地址 266000 山東省青島市高新區(qū)華東路826號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種帶水汽蒸發(fā)系統(tǒng)的工藝腔室，包括架體，架體上安裝有加熱器，加熱器的內(nèi)側(cè)安裝有工藝管，工藝管安裝在加熱器之間，且為非接觸式固定安裝，工藝管的管口處設(shè)置有工藝管密封法蘭壓緊工藝管密封圈，在管口的外側(cè)設(shè)置有擺動(dòng)爐門，工藝管下端的內(nèi)壁上設(shè)置有工藝進(jìn)氣管，所述工藝進(jìn)氣管的一端連接有進(jìn)氣閥，所述進(jìn)氣閥的另一端通過(guò)連接管連接有水汽蒸發(fā)系統(tǒng)本發(fā)明的有益效果是，在正常硼擴(kuò)散工藝后通入水汽，進(jìn)入工藝腔室的水汽對(duì)原有工藝腔室內(nèi)部殘存的化學(xué)物質(zhì)進(jìn)行水汽中和，避免工藝腔室內(nèi)部和管口產(chǎn)生存留物質(zhì)，黏附爐門和工藝腔室內(nèi)不干凈的作用，延長(zhǎng)工藝腔室拆卸清洗周期，提高設(shè)備利用率，提高產(chǎn)能，減少工藝管拆換工作量。