一種多氣體均勻混氣罐
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110801044.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN113368723A | 公開（公告）日 | 2021-09-10 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113368723A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-09-10 |
| 分類號(hào) | B01F5/06（2006.01）I;B01F3/02（2006.01）I;B01F13/10（2006.01）I;B01F15/04（2006.01）I | 分類 | 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置; |
| 發(fā)明人 | 宋立祿;張海林;滕玉朋 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 賽瑞達(dá)智能電子裝備（無錫）股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 青島晸投知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 李常芳 |
| 地址 | 214000 江蘇省無錫市錫山區(qū)芙蓉中三路99號(hào)瑞云6座1樓東三個(gè)逗號(hào)眾創(chuàng)空間 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種多氣體均勻混氣罐，包括混氣罐罐體，混氣罐罐體內(nèi)部的中部位置按不同高度設(shè)置有第一混氣網(wǎng)孔板、第二混氣網(wǎng)孔板、第三混氣網(wǎng)孔板和第四混氣網(wǎng)孔板，第一混氣網(wǎng)孔板、第二混氣網(wǎng)孔板、第三混氣網(wǎng)孔板和第四混氣網(wǎng)孔板貫穿圓心固定設(shè)置有網(wǎng)孔板連接柱，第一混氣網(wǎng)孔板和第二混氣網(wǎng)孔板之間設(shè)置有第一混合腔，第二混氣網(wǎng)孔板和第三混氣網(wǎng)孔板之間設(shè)置有第二混合腔，第三混氣網(wǎng)孔板和第四混氣網(wǎng)孔板之間設(shè)置有第三混合腔。本發(fā)明的一種多氣體均勻混氣罐，就很好的解決了單獨(dú)進(jìn)入氣體不能在工藝腔室容積中均勻化的問題，使得各種氣體在經(jīng)過流量計(jì)精確控制所需進(jìn)入的流量后，各個(gè)氣體不單獨(dú)進(jìn)入工藝腔室。 |
