一種立式高溫氧化、退火爐

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110191565.2 申請日 -
公開（公告）號 CN112833661A 公開（公告）日 2021-05-25
申請公布號 CN112833661A 申請公布日 2021-05-25
分類號 F27B1/09;F27B1/10;F27B1/14;F27B1/28;F27D1/18;F27D7/06;F27D11/10;H01L21/67 分類 爐；窯；烘烤爐；蒸餾爐〔4〕;
發(fā)明人 宋立祿;張海林;吳季浩;滕玉朋;劉國霞 申請（專利權(quán)）人 賽瑞達智能電子裝備（無錫）股份有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 214000 江蘇省無錫市錫山區(qū)芙蓉中三路99號瑞云6座1樓東三個逗號眾創(chuàng)空間
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明的一種立式高溫氧化、退火爐包括：真空密封爐膛，通過爐底法蘭與真空密封爐膛連接的爐門室，爐門室底部開口處通過爐門密封，真空密封爐膛內(nèi)設(shè)有保溫層，所述保溫層與工藝爐管之間形成加熱腔，所述加熱腔內(nèi)設(shè)置加熱器；所述工藝爐管與爐底法蘭、爐門室、爐門密閉形成工藝腔；穿過所述保溫層和爐殼分別設(shè)置爐殼真空管和爐殼進氣管；穿過所述爐門室一側(cè)設(shè)置工藝腔真空管，另一側(cè)設(shè)置工藝腔進氣管。本發(fā)明通過在真空密封爐膛內(nèi)設(shè)置爐底保溫層，爐殼保溫層，爐蓋保溫層，且爐蓋保溫層與爐蓋進行內(nèi)部固結(jié)形成一體，爐殼內(nèi)的三組保溫層形成一個封閉保溫空腔，使得立式高溫氧化爐加熱達到的溫度能夠穩(wěn)定的保持，減少能源消耗。