體聲波諧振器
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010828584.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN112003581A | 公開（公告）日 | 2020-11-27 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112003581A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-11-27 |
| 分類號(hào) | H03H9/02(2006.01)I;H03H9/17(2006.01)I | 分類 | 基本電子電路; |
| 發(fā)明人 | 黃韋勝;林瑞欽 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 武漢衍熙微器件有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 深圳紫藤知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 武漢衍熙微器件有限公司 |
| 地址 | 430000湖北省武漢市江夏區(qū)經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)藏龍島梁山頭村惠風(fēng)同慶花園一期G17-S棟1-2層6室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種體聲波諧振器。所述體聲波諧振器包括：襯底，以及依次設(shè)于所述襯底上的反射結(jié)構(gòu)、底電極、壓電層和頂電極；所述體聲波諧振器包括諧振區(qū)，所述諧振區(qū)包括邊緣區(qū)，所述邊緣區(qū)中設(shè)有至少一個(gè)空腔，且每個(gè)空腔的頂部和/或底部位于所述壓電層的內(nèi)部。本發(fā)明能夠避免側(cè)向波在共振時(shí)形成寄生模態(tài)，降低側(cè)向波的能量泄露。?? |
