一種射頻器件量測系統(tǒng)及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011507991.4 申請日 -
公開（公告）號 CN112698175A 公開（公告）日 2021-04-23
申請公布號 CN112698175A 申請公布日 2021-04-23
分類號 G01R31/26 分類 測量；測試;
發(fā)明人 張棘勇;章景恒 申請（專利權(quán)）人 武漢衍熙微器件有限公司
代理機構(gòu) 深圳紫藤知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 張曉薇
地址 430000 湖北省武漢市江夏區(qū)經(jīng)濟開發(fā)區(qū)藏龍島梁山頭村惠風(fēng)同慶花園一期G17-S棟1-2層6室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種射頻器件量測系統(tǒng)及方法，包括量測裝置、探針臺、數(shù)據(jù)存儲服務(wù)器以及數(shù)據(jù)處理服務(wù)器，通過將所述探針臺依次連接晶圓上的晶粒，在所述探針臺連接所述多個晶粒中的目標晶粒時，通過量測裝置獲取目標晶粒的散射參數(shù)并傳輸至所述數(shù)據(jù)存儲服務(wù)器，并使探針臺連接下一個晶粒，然后通過數(shù)據(jù)存儲服務(wù)器存儲所述目標晶粒的散射參數(shù)，最后通過所述數(shù)據(jù)處理服務(wù)器根據(jù)預(yù)設(shè)的量測參數(shù)數(shù)據(jù)，對所述數(shù)據(jù)存儲服務(wù)器中所述目標晶粒的散射參數(shù)進行處理，生成所述量測參數(shù)的參數(shù)數(shù)據(jù)，可使現(xiàn)有的量測設(shè)備能發(fā)揮更高的效率，從而無需投入更多相對昂貴的量測設(shè)備，既可滿足產(chǎn)能的要求，也能解決現(xiàn)有量測系統(tǒng)造成的資源浪費和量測過程耗時長的缺陷。