上提拉開放式單晶爐

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210175772.3 申請日 -
公開（公告）號 CN114717649A 公開（公告）日 2022-07-08
申請公布號 CN114717649A 申請公布日 2022-07-08
分類號 C30B15/26（2006.01）I;C30B15/30（2006.01）I;C30B15/00（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 李方;王建波;尹嘉琦;江佳飛 申請（專利權(quán)）人 連城凱克斯科技有限公司
代理機構(gòu) 無錫蘇元專利代理事務所（普通合伙） 代理人 -
地址 214000江蘇省無錫市錫山區(qū)錫北涇虹路15
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了上提拉開放式單晶爐，爐體包括主爐室和副爐室，主爐室內(nèi)部設有與籽晶配合的坩堝，主爐室的頂部設有爐蓋，爐蓋設有通孔；副爐室設于主爐室的上方，副爐室內(nèi)設有繩體，繩體的底部末端與籽晶相配合；熱場組件與坩堝相配合；坩堝驅(qū)動組件能夠驅(qū)動坩堝在主爐室內(nèi)轉(zhuǎn)動或升降；提升驅(qū)動組件能夠驅(qū)動繩體在副爐室內(nèi)轉(zhuǎn)動或升降；爐蓋與副爐室之間設有緩沖組件；爐蓋上設檢測窗，能夠與視覺檢測組件配合。本發(fā)明結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，可保證晶體的物理特性，并能夠?qū)崟r觀察晶體生長情況。