一種連續(xù)加料硅單晶爐

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210231348.6 申請日 -
公開(公告)號 CN114717644A 公開(公告)日 2022-07-08
申請公布號 CN114717644A 申請公布日 2022-07-08
分類號 C30B15/02(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 李萬朋;逯占文;段世飛;孔奕人;楊永遠(yuǎn);李陽 申請(專利權(quán))人 連城凱克斯科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 無錫蘇元專利代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 -
地址 214000江蘇省無錫市錫山區(qū)錫北涇虹路15
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及硅單晶爐技術(shù)領(lǐng)域,具體為一種連續(xù)加料硅單晶爐,包括第一支撐座,所述第一支撐座的右側(cè)固定設(shè)置有連接座,所述連接座的右側(cè)固定設(shè)置有第二支撐座,所述第二支撐座的內(nèi)部轉(zhuǎn)動安裝有轉(zhuǎn)盤,所述第一支撐座的表面固定安裝有爐體,所述爐體的上方固定安裝有出料管,所述出料管的頂端設(shè)置有拉晶棒;所述拉晶棒的側(cè)面固定連接有固定桿,所述固定桿端的下方設(shè)置有承托桿,所述承托桿右端的下方設(shè)置有頂板,所述頂板的底部固定連接有頂塊。本發(fā)明的有益效果是:該連續(xù)加料硅單晶爐,在現(xiàn)有的基礎(chǔ)上進(jìn)行改進(jìn),利用裝置上的同步加料和拉晶組件,使得裝置能夠在加料的同時自動拉晶,而且能夠?qū)Χ喾N不同的材料進(jìn)行加料和自動補(bǔ)充材料。