一種釔摻雜的AZO靶材及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200910108040.7 申請日 -
公開（公告）號 CN101580384A 公開（公告）日 2009-11-18
申請公布號 CN101580384A 申請公布日 2009-11-18
分類號 C04B35/453(2006.01)I;C04B35/622(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I 分類 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕;
發(fā)明人 張珂;胡茂橫;王會文 申請（專利權）人 湘潭順絡電子有限公司
代理機構 廣州華進聯(lián)合專利商標代理有限公司 代理人 中國南玻集團股份有限公司;永州信柏科技有限公司;湘潭順絡電子有限公司
地址 518047廣東省深圳市南山區(qū)蛇口工業(yè)區(qū)工業(yè)六路口
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種釔摻雜的AZO靶材，該靶材中含有重量百分比為1-10％的氧化鋁、0.1-5％的氧化釔，以及余量的氧化鋅。本發(fā)明還提供了該釔摻雜的AZO靶材的制備方法，包含步驟：S1，按事先確定好的比例分別稱取原料氧化鋅、氧化鋁、氧化釔粉末，加入粘結劑，加水混合均勻；S2，將混合物干燥后，將粉末進行壓制成型，形成預先確定的形狀和強度的坯體；S3，將坯體在常壓和常氣氛下在進行燒結，燒結溫度為1200-1600℃。采用本發(fā)明所提供的靶材制得的透明導電膜具有透光率高、電阻率低，薄膜附著力好，致密完整，穩(wěn)定性好等特點。