一種釔摻雜的AZO靶材及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN200910108040.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN101580384B 公開(kāi)（公告）日 2012-09-26
申請(qǐng)公布號(hào) CN101580384B 申請(qǐng)公布日 2012-09-26
分類(lèi)號(hào) C23C14/06(2006.01)I;C04B35/453(2006.01)I;C04B35/622(2006.01)I 分類(lèi) 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 張珂;胡茂橫;王會(huì)文 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 湘潭順絡(luò)電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 東莞南玻陶瓷科技有限公司;永州信柏科技有限公司;湘潭順絡(luò)電子有限公司
地址 518116 中國(guó)廣東省深圳市龍崗區(qū)寶龍工業(yè)城錦龍三路寶昌利工業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種釔摻雜的AZO靶材，該靶材中含有重量百分比為1-10％的氧化鋁、0.1-5％的氧化釔，以及余量的氧化鋅。本發(fā)明還提供了該釔摻雜的AZO靶材的制備方法，包含步驟：S1，按事先確定好的比例分別稱取原料氧化鋅、氧化鋁、氧化釔粉末，加入粘結(jié)劑，加水混合均勻；S2，將混合物干燥后，將粉末進(jìn)行壓制成型，形成預(yù)先確定的形狀和強(qiáng)度的坯體；S3，將坯體在常壓和常氣氛下在進(jìn)行燒結(jié)，燒結(jié)溫度為1200-1600℃。采用本發(fā)明所提供的靶材制得的透明導(dǎo)電膜具有透光率高、電阻率低，薄膜附著力好，致密完整，穩(wěn)定性好等特點(diǎn)。