一種微型工件的PVD遮蔽治具及PVD遮蔽治具機構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120312928.9 申請日 -
公開（公告）號 CN214458274U 公開（公告）日 2021-10-22
申請公布號 CN214458274U 申請公布日 2021-10-22
分類號 C23C14/04;C23C14/50 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 杜斌;王申萬;蔡創(chuàng)英;陳嘉新;姚陳誠;陳友靜;劉會旭 申請（專利權(quán)）人 深圳市正和忠信精密科技有限公司
代理機構(gòu) 深圳智趣知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 崔艷崢
地址 518000 廣東省深圳市龍崗區(qū)坪地街道六聯(lián)社區(qū)富臨路32號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供了一種微型工件的PVD遮蔽治具及PVD遮蔽治具機構(gòu)，一種微型工件的PVD遮蔽治具，包括：基座；多個遮蔽件，遮蔽件設(shè)置在基座上；多個彈性件，彈性件用于使微型工件與遮蔽件緊密貼合。一種PVD遮蔽治具機構(gòu)，包括掛盤和多個微型工件的PVD遮蔽治具；掛盤包括多個掛鉤，懸掛部掛在掛鉤上。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的一種微型工件的PVD遮蔽治具，具有溢鍍低、產(chǎn)品良率高的特點。本實用新型的PVD遮蔽治具機構(gòu)，能夠大批量進行鍍膜，鍍膜效率高，極大的節(jié)省人力和機臺需求。