一種具有冷卻機構(gòu)的PVD裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201920679241.1 申請日 -
公開（公告）號 CN210149960U 公開（公告）日 2020-03-17
申請公布號 CN210149960U 申請公布日 2020-03-17
分類號 B65D81/18;B65D81/26;B65D25/00 分類 輸送；包裝；貯存；搬運薄的或細絲狀材料;
發(fā)明人 杜斌;陳嘉新;劉會旭;蔡喜斌;陳洪瓊;姚偉 申請（專利權(quán)）人 深圳市正和忠信精密科技有限公司
代理機構(gòu) 中山市興華粵專利代理有限公司 代理人 翁曉嬋
地址 518117 廣東省深圳市龍崗區(qū)坪地街道六聯(lián)社區(qū)富臨路32號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種具有冷卻機構(gòu)的PVD裝置，包括轉(zhuǎn)動安裝的上下貫通的散熱轉(zhuǎn)腔，該散熱轉(zhuǎn)腔的腔壁中空設置散熱流道，散熱轉(zhuǎn)腔內(nèi)安裝葉輪，散熱轉(zhuǎn)腔與散熱流道之間通過散熱流道上的流道孔連通，散熱轉(zhuǎn)腔設置相對轉(zhuǎn)動的下散熱體和上散熱體，下散熱體和散熱轉(zhuǎn)腔一體設置，上散熱體通過加速齒輪與散熱轉(zhuǎn)腔聯(lián)動；PVD操作室設置接通孔，上散熱體和下散熱體設置散熱體孔，散熱轉(zhuǎn)腔轉(zhuǎn)動時散熱流道和PVD操作室之間通過接通孔、散熱體孔、流道孔間歇連通。本實用新型的具有冷卻機構(gòu)的PVD裝置，通過PVD操作室與接通孔、散熱體孔、流道孔的間歇連通，將熱氣從散熱流道排出，更好的保證了PVD操作室內(nèi)溫度的均勻，避免了工件的損壞。