新型晶圓半導(dǎo)體生產(chǎn)輔助設(shè)備
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202010058708.8 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN111229711A | 公開（公告）日 | 2020-06-05 |
| 申請公布號 | CN111229711A | 申請公布日 | 2020-06-05 |
| 分類號 | B08B3/10(2006.01)I | 分類 | 清潔; |
| 發(fā)明人 | 吳明;俞偉 | 申請（專利權(quán)）人 | 浙江藍特光學(xué)股份有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 北京中政聯(lián)科專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 浙江藍特光學(xué)股份有限公司 |
| 地址 | 314023浙江省嘉興市秀洲區(qū)洪合鎮(zhèn)洪福路1108號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及晶圓半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，且公開了新型晶圓半導(dǎo)體生產(chǎn)輔助設(shè)備，包括清洗箱，清洗箱的內(nèi)部設(shè)置有一個清洗框，清洗框的表面開設(shè)有漏水孔，清洗框的內(nèi)壁上端鉸接有一塊矩形蓋板，清洗框的上表面固定連接有把手，清洗框的底板上等距均勻固定連接有矩形擋板，該新型晶圓半導(dǎo)體生產(chǎn)輔助設(shè)備，通過電機的轉(zhuǎn)動帶動轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn)動，轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn)動帶動凸輪的轉(zhuǎn)動在配合弧形桿，從而可以使弧形桿進行上下移動，弧形桿的上下移動帶動漂洗板的上下移動，漂洗板的上下移動的帶動清洗框進行上下移動，從而對清洗框內(nèi)部的晶圓進行上下抖動的清洗，通過這樣漂洗的方式不僅可以使用大批量的清洗，還可以使晶圓清洗的更加干凈。?? |
