新型晶圓半導體生產(chǎn)輔助設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020123442.6 申請日 -
公開（公告）號 CN211707572U 公開（公告）日 2020-10-20
申請公布號 CN211707572U 申請公布日 2020-10-20
分類號 B08B3/10(2006.01)I 分類 清潔;
發(fā)明人 俞偉;吳明 申請（專利權）人 浙江藍特光學股份有限公司
代理機構 嘉興中創(chuàng)致鴻知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 浙江藍特光學股份有限公司
地址 314023浙江省嘉興市秀洲區(qū)洪合鎮(zhèn)洪福路1108號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及晶圓半導體技術領域，且公開了新型晶圓半導體生產(chǎn)輔助設備，包括清洗箱，清洗箱的內部設置有一個清洗框，清洗框的表面開設有漏水孔，清洗框的內壁上端鉸接有一塊矩形蓋板，清洗框的上表面固定連接有把手，清洗框的底板上等距均勻固定連接有矩形擋板，該新型晶圓半導體生產(chǎn)輔助設備，通過電機的轉動帶動轉軸的轉動，轉軸的轉動帶動凸輪的轉動在配合弧形桿，從而可以使弧形桿進行上下移動，弧形桿的上下移動帶動漂洗板的上下移動，漂洗板的上下移動的帶動清洗框進行上下移動，從而對清洗框內部的晶圓進行上下抖動的清洗，通過這樣漂洗的方式不僅可以使用大批量的清洗，還可以使晶圓清洗的更加干凈。??