大尺寸掩膜基板的制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610352702.5 申請日 -
公開（公告）號 CN105826469A 公開（公告）日 2016-08-03
申請公布號 CN105826469A 申請公布日 2016-08-03
分類號 H01L51/00(2006.01)I;H01L51/50(2006.01)I;C23C14/04(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I;C23C14/12(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 唐軍 申請（專利權(quán)）人 深圳浚漪科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州市南鋒專利事務(wù)所有限公司 代理人 鄭學(xué)偉;葉利軍
地址 518000 廣東省深圳市坪山新區(qū)坪山辦事處沙湖社區(qū)錦龍大道南2-10號廠房三樓東邊
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種大尺寸掩膜基板的制作方法，包括：提供多條橫向膜片和多條縱向膜片；將多條所述橫向膜片與多條所述縱向膜片縱橫交錯布置，以形成矩陣分布多個方形的蒸鍍孔；通過張緊機(jī)將縱橫交錯布置的所述橫向膜片和所述縱向膜片張緊，使得所述蒸鍍孔的尺寸達(dá)到預(yù)定值；采用焊接工藝將張緊后的所述橫向膜片和所述縱向膜片相對焊接固定，以形成所述掩膜基板。根據(jù)本發(fā)明提供的大尺寸掩膜基板的制作方法，可以形成大尺寸的掩膜基板，其取材方便，成本低，工藝簡單，能夠滿足大尺寸顯示器件的要求。此外，形成的掩膜基板上表面的平面度更高，達(dá)到更好的蒸鍍效果，提高產(chǎn)品良率。