高精度金屬掩模板加工方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201510708642.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN105349947B 公開（公告）日 2018-01-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN105349947B 申請(qǐng)公布日 2018-01-12
分類號(hào) C23C14/04;C23C14/24 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 唐軍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳浚漪科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州市南鋒專利事務(wù)所有限公司 代理人 鄭學(xué)偉;葉利軍
地址 518101 廣東省深圳市坪山新區(qū)坪山街道沙湖社區(qū)錦龍大道南2-10號(hào)西
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種高精度金屬掩模板加工方法，包括提供一金屬板框及一金屬膜片，所述金屬膜片具有相對(duì)的接觸面和蒸鍍面；將所述金屬膜片水平置于所述金屬板框上方，且保持所述蒸鍍面朝下，并采用張緊機(jī)將所述金屬膜片張平；采用焊接工藝將張平的所述金屬膜片的外周沿焊接于所述金屬板框上；采用蝕刻工藝在所述金屬膜片上加工形成蒸鍍孔，所述蒸鍍孔自所述蒸鍍面貫穿所述接觸面。本發(fā)明可顯著提高開設(shè)的蒸鍍孔的尺寸精度，減少不良率和報(bào)廢率，同時(shí)，大幅度降低生產(chǎn)成本。