一種長(zhǎng)晶系統(tǒng)和長(zhǎng)晶方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010657434.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN111850700A | 公開（公告）日 | 2020-10-30 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111850700A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-10-30 |
| 分類號(hào) | C30B35/00(2006.01)I | 分類 | 晶體生長(zhǎng)〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 李興中;朱愛(ài)軍;邵永正;袁洋;李行 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 河南晶鴻光電科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 鄭州立格知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 河南晶鴻光電科技有限公司 |
| 地址 | 463000河南省駐馬店市遂平縣富強(qiáng)北路與希望大道交叉口 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供了一種長(zhǎng)晶系統(tǒng)和長(zhǎng)晶方法，其中長(zhǎng)晶系統(tǒng)包括：儲(chǔ)氣罐，所述儲(chǔ)氣罐通過(guò)第一閥門分別與第一管道和第二管道連接，所述第一管道通過(guò)第三管道與長(zhǎng)晶爐的出氣管連接，所述第一管道與所述第三管道的連接處設(shè)有真空發(fā)生器，所述第三管道上設(shè)有冷凝器，所述出氣管上設(shè)有第二閥門，所述第二管道與所述長(zhǎng)晶爐的進(jìn)氣管連接；過(guò)濾池，所述過(guò)濾池通過(guò)第四管道與所述第一管道的出氣端連接，所述第四管道上設(shè)有逆止閥，所述第四管道的出氣端位于所述過(guò)濾池內(nèi)液面以下。應(yīng)用該長(zhǎng)晶系統(tǒng)能夠較為準(zhǔn)確的控制長(zhǎng)晶爐內(nèi)壓力，并能夠?qū)㈤L(zhǎng)晶爐內(nèi)有害氣體及時(shí)排出。?? |
