一種音叉式結(jié)構(gòu)MEMS陀螺儀

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201920440915.2 申請日 -
公開（公告）號 CN209446069U 公開（公告）日 2019-09-27
申請公布號 CN209446069U 申請公布日 2019-09-27
分類號 G01C19/5621（2012.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 王志; 周駿; 王龍峰; 山永啟; 雷龍海 申請（專利權(quán)）人 四川知微傳感技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 成都行之專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 四川知微傳感技術(shù)有限公司
地址 610000 四川省成都市高新區(qū)（西區(qū)）天辰路88號4棟三單元4層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種音叉式結(jié)構(gòu)MEMS陀螺儀，包括：第一框架、第二框架、第三框架、第四框架、第一梁、第二梁、第三梁、第四梁、第五梁、第六梁、第七梁、第八梁、第九梁、第十梁、第十一梁、第十二梁、第十三梁、第十四梁、第一梳齒電極、第二梳齒電極、第三梳齒電極、第四梳齒電極、第五梳齒電極、第六梳齒電極、第七梳齒電極、第八梳齒電極、第九梳齒電極、第十梳齒電極、第十一梳齒電極、第十二梳齒電極、第十三梳齒電極、第十四梳齒電極以及第一錨點、第二錨點、第三錨點、第四錨點；該陀螺儀可有效抑制加速度和振動引起的測量誤差，從而提高器件性能；該結(jié)構(gòu)電極排布方式可抑制檢測電極靜電力的不利影響，也有利于提高器件的性能。