一種基于剛度補償?shù)母咝阅躆EMS閉環(huán)加速度計

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201920437969.3 申請日 -
公開（公告）號 CN209460284U 公開（公告）日 2019-10-01
申請公布號 CN209460284U 申請公布日 2019-10-01
分類號 G01P15/125;G01P15/08;B81B7/02;B81B7/00 分類 測量；測試;
發(fā)明人 雷龍海;周駿;王龍峰;王志;山永啟 申請（專利權）人 四川知微傳感技術有限公司
代理機構 成都行之專利代理事務所（普通合伙） 代理人 四川知微傳感技術有限公司
地址 610000 四川省成都市高新區(qū)(西區(qū))天辰路88號4棟三單元4層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種基于剛度補償?shù)母咝阅躆EMS閉環(huán)加速度計，包括：關于加速度計中心對稱的上半部分和下半部分，上半部分和下半部分均包括：基片，錨點固定在基片上，基片上設有絕緣層，絕緣層上設有敏感器件層，敏感器件層包括：敏感質量塊、支撐梁、力反饋梳齒單元、檢測梳齒單元、剛度補償單元；上半部分和下半部分的敏感質量塊上均設有第一鏤空區(qū)域和第二鏤空區(qū)域；第一鏤空區(qū)域內(nèi)安裝有：支撐梁錨點、支撐梁、檢測梳齒單元錨點、檢測梳齒單元；第二鏤空區(qū)域內(nèi)安裝有：支撐梁錨點、支撐梁、力反饋梳齒單元、力反饋梳齒單元錨點、剛度補償單元、剛度補償單元錨點；通過對加速度計剛度補償結構的設計可以補償工藝加工造成的機械剛度偏大的問題。