一種基于剛度補(bǔ)償?shù)母咝阅躆EMS閉環(huán)加速度計(jì)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201920437969.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN209460284U | 公開(kāi)（公告）日 | 2019-10-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN209460284U | 申請(qǐng)公布日 | 2019-10-01 |
| 分類號(hào) | G01P15/125;G01P15/08;B81B7/02;B81B7/00 | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 雷龍海;周駿;王龍峰;王志;山永啟 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 四川知微傳感技術(shù)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 成都行之專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 四川知微傳感技術(shù)有限公司 |
| 地址 | 610000 四川省成都市高新區(qū)(西區(qū))天辰路88號(hào)4棟三單元4層 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種基于剛度補(bǔ)償?shù)母咝阅躆EMS閉環(huán)加速度計(jì)，包括：關(guān)于加速度計(jì)中心對(duì)稱的上半部分和下半部分，上半部分和下半部分均包括：基片，錨點(diǎn)固定在基片上，基片上設(shè)有絕緣層，絕緣層上設(shè)有敏感器件層，敏感器件層包括：敏感質(zhì)量塊、支撐梁、力反饋梳齒單元、檢測(cè)梳齒單元、剛度補(bǔ)償單元；上半部分和下半部分的敏感質(zhì)量塊上均設(shè)有第一鏤空區(qū)域和第二鏤空區(qū)域；第一鏤空區(qū)域內(nèi)安裝有：支撐梁錨點(diǎn)、支撐梁、檢測(cè)梳齒單元錨點(diǎn)、檢測(cè)梳齒單元；第二鏤空區(qū)域內(nèi)安裝有：支撐梁錨點(diǎn)、支撐梁、力反饋梳齒單元、力反饋梳齒單元錨點(diǎn)、剛度補(bǔ)償單元、剛度補(bǔ)償單元錨點(diǎn)；通過(guò)對(duì)加速度計(jì)剛度補(bǔ)償結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)可以補(bǔ)償工藝加工造成的機(jī)械剛度偏大的問(wèn)題。 |
