一種三明治式微加速度計(jì)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201920437394.5 申請日 -
公開（公告）號 CN209460283U 公開（公告）日 2019-10-01
申請公布號 CN209460283U 申請公布日 2019-10-01
分類號 G01P15/125;G01P15/08 分類 測量；測試;
發(fā)明人 雷龍海;周駿;王龍峰;王志;山永啟 申請（專利權(quán)）人 四川知微傳感技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 成都行之專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 四川知微傳感技術(shù)有限公司
地址 610000 四川省成都市高新區(qū)(西區(qū))天辰路88號4棟三單元4層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種三明治式微加速度計(jì)，所述微加速度計(jì)包括：從上到下的：上電極結(jié)構(gòu)層、上鍵合接觸區(qū)、中間電極結(jié)構(gòu)層、下鍵合接觸區(qū)、下電極結(jié)構(gòu)層；上電極結(jié)構(gòu)層設(shè)有與中間電極結(jié)構(gòu)層鍵合的上鍵合接觸區(qū)；下電極結(jié)構(gòu)層設(shè)有與中間電極結(jié)構(gòu)層鍵合的下鍵合接觸區(qū)；上鍵合接觸區(qū)與下鍵合接觸區(qū)構(gòu)成鍵合接觸層；上電極結(jié)構(gòu)層、中間電極結(jié)構(gòu)層、下電極結(jié)構(gòu)層在上、下鍵合接觸區(qū)經(jīng)熔融鍵合后構(gòu)成自密封結(jié)構(gòu)；其中中間電極結(jié)構(gòu)層包括可動質(zhì)量塊；在很大程度上降低器件上、下電極結(jié)構(gòu)層與中間電極結(jié)構(gòu)層的寄生電容值，在極板間隙相同情況下，這將明顯的提升三明治式微加速度計(jì)的信噪比特性。