一種低噪聲MEMS加速度計(jì)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010259467.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN111551761A | 公開（公告）日 | 2020-08-18 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111551761A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-08-18 |
| 分類號(hào) | G01P15/125(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 王志;周駿;王龍峰;山永啟;雷龍海 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 四川知微傳感技術(shù)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 成都行之專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 四川知微傳感技術(shù)有限公司 |
| 地址 | 610000四川省成都市高新區(qū)（西區(qū)）天辰路88號(hào)4棟三單元4層 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種低噪聲MEMS加速度計(jì)，本發(fā)明的加速度計(jì)由結(jié)構(gòu)層和襯底層組成，結(jié)構(gòu)層包括質(zhì)量塊、梁、梳齒組和鉚點(diǎn)；其中鉚點(diǎn)均固定在襯底上，梳齒組及與之相連的鉚點(diǎn)分布在質(zhì)量塊的內(nèi)部；所述梁一端與質(zhì)量塊連接且梁的另一端與鉚點(diǎn)連接，梁及與之相連的鉚點(diǎn)分布在質(zhì)量塊的四周；所述梳齒組包括檢測(cè)梳齒且檢測(cè)梳齒為變面積梳齒。本發(fā)明通過(guò)采用變面積梳齒結(jié)構(gòu)，降低阻尼從而減小布朗噪聲。?? |
