一種基于零位校正的微機械MEMS加速度計

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201920791579.6 申請日 -
公開（公告）號 CN209746002U 公開（公告）日 2019-12-06
申請公布號 CN209746002U 申請公布日 2019-12-06
分類號 G01P15/08（2006.01）; G01P15/125（2006.01）; G01P15/13（2006.01） 分類 測量；測試;
發(fā)明人 雷龍海; 周駿; 王龍峰; 王志; 山永啟 申請（專利權(quán)）人 四川知微傳感技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 成都行之專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 四川知微傳感技術(shù)有限公司
地址 610000 四川省成都市高新區(qū)（西區(qū)）天辰路88號4棟三單元4層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種基于零位校正的微機械MEMS加速度計，包括：基片，基片上設(shè)有氧化層，若干個錨點通過氧化層固定在基片上，氧化層上設(shè)有敏感器件層，敏感器件層包括：差動電容檢測結(jié)構(gòu)、加速度計閉環(huán)反饋電極結(jié)構(gòu)、若干個懸臂梁、零位校正結(jié)構(gòu)、敏感質(zhì)量塊、2個止擋結(jié)構(gòu)、2個固定結(jié)構(gòu)；通過對加速度計結(jié)構(gòu)的設(shè)計可以校正結(jié)構(gòu)由于加工誤差、安裝誤差以及環(huán)境溫度等變化帶來的零位輸出變化不一的問題，消除由于零位變化對器件穩(wěn)定性、溫度特性等性能造成的影響。