一種可在線更換籽晶的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610247987.6 申請日 -
公開（公告）號 CN105862121A 公開（公告）日 2016-08-17
申請公布號 CN105862121A 申請公布日 2016-08-17
分類號 C30B17/00(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 余劍云;李慶躍;李凱;張會選;徐峰 申請（專利權(quán)）人 黃山市東晶光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市百瑞專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 黃山市東晶光電科技有限公司
地址 245200 安徽省黃山市屯溪區(qū)迎賓大道168號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了可在線更換籽晶的方法，使用一種泡生法藍(lán)寶石晶體生長爐，包括如下步驟：打開電動擋板閥；將籽晶從主爐腔提升至副爐腔中；關(guān)閉電動擋板閥；打開冷卻閥通入冷卻氣體；開啟爐門更換籽晶；打開電動擋板閥并對主爐腔內(nèi)部抽真空；下降籽晶桿重新引晶。上述泡生法藍(lán)寶石晶體生長爐具有主爐腔和副爐腔，爐蓋與副爐腔通過電動擋板閥隔開，在副爐腔左面設(shè)有冷卻閥，右面設(shè)有開啟副爐腔的爐門；籽晶桿安裝在提拉系統(tǒng)上，并向下延伸依次穿過管體、副爐腔和爐蓋，最終到達(dá)主爐腔的內(nèi)部。本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)在線更換籽晶，具有能耗低、生產(chǎn)成本低的優(yōu)點(diǎn)，與此同時(shí)可有效避免因籽晶問題無法引晶而耽誤生產(chǎn)周期的發(fā)生，確保生產(chǎn)的連續(xù)性。