一種全自動數(shù)控穩(wěn)定熱場系統(tǒng)裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201520924203.X 申請日 -
公開（公告）號 CN205115671U 公開（公告）日 2016-03-30
申請公布號 CN205115671U 申請公布日 2016-03-30
分類號 C30B29/20(2006.01)I;C30B15/14(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 張會選;李慶躍;李凱;徐峰 申請（專利權(quán)）人 黃山市東晶光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市百瑞專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 黃山市東晶光電科技有限公司
地址 245200 安徽省黃山市屯溪區(qū)迎賓大道168號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種全自動數(shù)控穩(wěn)定熱場系統(tǒng)裝置，其特征在于：包括控制器，用于安置坩堝的爐體，設(shè)置在爐體上部的上隔熱屏，以及安裝在上隔熱屏上用于控制上隔熱屏升降的第一調(diào)節(jié)裝置，所述控制器與第一調(diào)節(jié)裝置相連接，用于根據(jù)爐體內(nèi)晶體的重量變化控制上隔熱屏的升降。本實用新型通過控制器對爐體內(nèi)晶體重量變化進(jìn)行實時監(jiān)測，并驅(qū)動第一調(diào)節(jié)裝置帶動上隔熱屏進(jìn)行升降，實現(xiàn)了對爐體內(nèi)垂直溫度梯度的有效調(diào)整，大大降低了退火難度，與此同時降低了退火周期和晶體熱應(yīng)力，使得藍(lán)寶石單晶的報廢率得到大幅度降低。