清潔設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010492589.7 申請日 -
公開（公告）號 CN113751384A 公開（公告）日 2021-12-07
申請公布號 CN113751384A 申請公布日 2021-12-07
分類號 B08B1/04（2006.01）I;B08B1/00（2006.01）I;B08B5/04（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 糾松濤;羅曙霖;向森;王松 申請（專利權(quán)）人 中芯國際集成電路制造（深圳）有限公司
代理機構(gòu) 北京市一法律師事務(wù)所 代理人 劉榮娟
地址 518000廣東省深圳市坪山新區(qū)出口加工區(qū)高芯路18號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請?zhí)峁┮环N清潔設(shè)備。所述清潔設(shè)備可以包括基座、移動構(gòu)件以及清潔裝置。進一步地，所述清潔裝置可以包括清潔頭和吸除裝置。所述移動構(gòu)件帶動所述清潔頭沿待清潔表面的目標方向移動。所述清潔頭清掃所述待清潔表面上的顆粒。所述吸除裝置通過所述清潔頭上的孔將所述清潔頭清掃下來的顆粒吸除。在一些實施例中，所述清潔設(shè)備還可以包括第一驅(qū)動裝置、第二驅(qū)動裝置、第三驅(qū)動裝置、傳感器模塊以及中央信息處理系統(tǒng)。所述清潔設(shè)備可以自動完成對掩膜臺真空墊表面的清潔。