電熔絲結(jié)構(gòu)及其形成方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010211812.6 申請日 -
公開（公告）號 CN113451263A 公開（公告）日 2021-09-28
申請公布號 CN113451263A 申請公布日 2021-09-28
分類號 H01L23/525;H01L21/768 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李曉華 申請（專利權(quán)）人 中芯國際集成電路制造（深圳）有限公司
代理機構(gòu) 上海德禾翰通律師事務(wù)所 代理人 侯莉
地址 518118 廣東省深圳市坪山新區(qū)出口加工區(qū)高芯路18號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種電熔絲結(jié)構(gòu)及其形成方法，所述電熔絲結(jié)構(gòu)包括一種電熔絲結(jié)構(gòu)，所述電熔絲結(jié)構(gòu)包括：熔絲鏈，包括熔斷區(qū)和沿熔斷區(qū)延伸方向位于熔斷區(qū)兩側(cè)的電極區(qū)；分別與所述電極區(qū)連接的多個分立的插塞，各插塞在熔斷區(qū)的寬度方向上的尺寸大于所述電極區(qū)在熔斷區(qū)的寬度方向上的尺寸。上述的方案，可以提升電熔絲結(jié)構(gòu)的性能。