一種控制散熱器流量的三維異構(gòu)模組制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010588587.8 申請日 -
公開（公告）號 CN111653490B 公開（公告）日 2021-12-17
申請公布號 CN111653490B 申請公布日 2021-12-17
分類號 H01L21/48（2006.01）I;B81C1/00（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 馮光建 申請（專利權(quán)）人 浙江集邁科微電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州天昊專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 董世博
地址 313100浙江省湖州市長興縣經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)陳王路與太湖路交叉口長興國家大學(xué)科技園二分部北園8號廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種控制散熱器流量的三維異構(gòu)模組制作方法，具體包括如下步驟：101）標(biāo)尺制作步驟、102）TSV孔制作步驟、103）鍵合步驟；本發(fā)明提供能滿足多種液體流速需求的一種控制散熱器流量的三維異構(gòu)模組制作方法。