一種硅片貼片機

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201821955478.X 申請日 -
公開(公告)號 CN209266362U 公開(公告)日 2019-08-16
申請公布號 CN209266362U 申請公布日 2019-08-16
分類號 H01L21/67;H01L21/677;H01L21/687 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 厲惠宏;徐繼東;胡曉光 申請(專利權(quán))人 金瑞泓科技(衢州)有限公司
代理機構(gòu) 上海泰能知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 代理人 宋纓;孫健
地址 324000 浙江省衢州市綠色產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)盤龍南路52號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種硅片貼片機,包括料盤進出盒升降裝置、陶瓷盤刷洗裝置、陶瓷盤加熱臺、涂蠟裝置、翻轉(zhuǎn)貼片裝置、加壓冷卻裝置,左右對稱布置有料盤進出盒升降裝置,每個料盤進出盒升降裝置的后方均設(shè)置有傳送機構(gòu),兩個傳送機構(gòu)的后部之間從左往右依次安裝有陶瓷盤刷洗裝置、陶瓷盤加熱臺、翻轉(zhuǎn)貼片裝置以及加壓冷卻裝置,所述的翻轉(zhuǎn)貼片裝置的前方設(shè)置有涂蠟裝置。本實用新型自動化程度高,適合大批量生產(chǎn)。