一種用于解決硅片背面圈印的刷洗裝置以及使用方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910321407.7 申請日 -
公開（公告）號 CN110112082A 公開（公告）日 2019-08-09
申請公布號 CN110112082A 申請公布日 2019-08-09
分類號 H01L21/67;H01L21/02 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張世波;周明飛;徐國科;胡孟君;高鵬飛;盧峰;劉建剛;田達(dá)晰 申請（專利權(quán)）人 金瑞泓科技（衢州）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海泰能知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 代理人 王亮
地址 324000 浙江省衢州市綠色產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)盤龍南路52號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種用于解決硅片背面圈印的刷洗裝置以及使用方法，包括轉(zhuǎn)軸、pp支架和背面刷，pp支架呈圓盤狀，pp支架的下端中部豎直安裝有轉(zhuǎn)軸，轉(zhuǎn)軸中空，pp支架上端安裝有背面刷，背面刷包括不銹鋼圓盤和聚氨酯耐磨海綿，不銹鋼圓盤下端與pp支架固定，不銹鋼圓盤上端安裝有相配的聚氨酯耐磨海綿，聚氨酯耐磨海綿呈圓盤狀，pp支架以及不銹鋼圓盤內(nèi)部設(shè)置有溢流通道，溢流通道一端與轉(zhuǎn)軸上端的開口處相連，溢流通道另一端與聚氨酯耐磨海綿相連。本發(fā)明機(jī)械手吸附硅片正面，硅片背面與背面刷接觸，然后緩慢通過旋轉(zhuǎn)的背面刷，刷洗掉減薄后殘留在硅片背面邊緣圈印狀的劃傷和沾污。