一種用于硅片貼片機(jī)的冷卻裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201821971549.5 申請日 -
公開（公告）號 CN209266363U 公開（公告）日 2019-08-16
申請公布號 CN209266363U 申請公布日 2019-08-16
分類號 H01L21/67 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 胡曉光;徐繼東;厲惠宏 申請（專利權(quán)）人 金瑞泓科技（衢州）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海泰能知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 代理人 宋纓;孫健
地址 324000 浙江省衢州市綠色產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)盤龍南路52號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種用于硅片貼片機(jī)的冷卻裝置，包括工作臺、下冷卻盤和上冷卻盤，所述的工作臺上端中部安裝有升降氣缸，該升降氣缸上端的活塞桿與下冷卻盤相連，所述的工作臺上端位于升降氣缸的兩側(cè)均豎直安裝有直線軸承，該直線軸承內(nèi)安裝有上下滑動的導(dǎo)向軸，所述的導(dǎo)向軸的上端與下冷卻盤的下端一側(cè)固定，所述的工作臺位于下冷卻盤的上方水平布置有橫梁，該橫梁上安裝有上冷卻盤基板，所述的上冷卻盤基板的兩側(cè)均豎直安裝有吊柱套，每個吊柱套內(nèi)安裝有上下浮動的吊柱，所述的吊柱的下端與上冷卻盤相連。本實(shí)用結(jié)構(gòu)簡單，使用方便，自動化程度較高。