一種用于硅片貼片機(jī)的冷卻裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201821971549.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN209266363U 公開(kāi)（公告）日 2019-08-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN209266363U 申請(qǐng)公布日 2019-08-16
分類號(hào) H01L21/67 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 胡曉光;徐繼東;厲惠宏 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 金瑞泓科技（衢州）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海泰能知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 代理人 宋纓;孫健
地址 324000 浙江省衢州市綠色產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)盤(pán)龍南路52號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種用于硅片貼片機(jī)的冷卻裝置，包括工作臺(tái)、下冷卻盤(pán)和上冷卻盤(pán)，所述的工作臺(tái)上端中部安裝有升降氣缸，該升降氣缸上端的活塞桿與下冷卻盤(pán)相連，所述的工作臺(tái)上端位于升降氣缸的兩側(cè)均豎直安裝有直線軸承，該直線軸承內(nèi)安裝有上下滑動(dòng)的導(dǎo)向軸，所述的導(dǎo)向軸的上端與下冷卻盤(pán)的下端一側(cè)固定，所述的工作臺(tái)位于下冷卻盤(pán)的上方水平布置有橫梁，該橫梁上安裝有上冷卻盤(pán)基板，所述的上冷卻盤(pán)基板的兩側(cè)均豎直安裝有吊柱套，每個(gè)吊柱套內(nèi)安裝有上下浮動(dòng)的吊柱，所述的吊柱的下端與上冷卻盤(pán)相連。本實(shí)用結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用方便，自動(dòng)化程度較高。