一種光刻膠組合物及其用途

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110691354.5 申請日 -
公開（公告）號 CN113485072A 公開（公告）日 2021-10-08
申請公布號 CN113485072A 申請公布日 2021-10-08
分類號 G03F7/004（2006.01）I 分類 攝影術；電影術；利用了光波以外其他波的類似技術；電記錄術；全息攝影術〔4〕;
發(fā)明人 刁翠梅;李冰;張咪;王雙雙;陳昕;王文芳;董棟;張寧 申請（專利權）人 彤程新材料集團股份有限公司
代理機構 北京柏杉松知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 高敏;劉繼富
地址 101312北京市順義區(qū)竺園路4號（天竺綜合保稅區(qū)）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請?zhí)峁┝艘环N光刻膠組合物及其用途，該光刻膠組合物，以重量份計，包括以下成分：酚醛樹脂10?50份、感光劑1?10份、塑化劑0.1?5份、添加劑0.1?5份和有機溶劑40?100份，添加劑包括結構式（I）所示化合物中的至少一種。將本申請的光刻膠作為G線光刻膠或I線光刻膠使用，具有較低的回流溫度，能避免高溫對器件造成不利影響，在較低的溫度下迅速回流形成形貌良好的微鏡陣列，可用于對溫度要求苛刻的生產工藝中。而且較小尺寸、或者較大高寬比的圖形也能回流成形貌良好的微鏡陣列。