一種光刻膠用酚醛樹脂及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110910692.3 申請日 -
公開（公告）號 CN113461885A 公開（公告）日 2021-10-01
申請公布號 CN113461885A 申請公布日 2021-10-01
分類號 C08G8/24（2006.01）I;G03F7/004（2006.01）I 分類 有機(jī)高分子化合物；其制備或化學(xué)加工；以其為基料的組合物;
發(fā)明人 張潔;紀(jì)愛亮;王光輝;張成;王文芳;董棟;張寧 申請（專利權(quán)）人 彤程新材料集團(tuán)股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京維正專利代理有限公司 代理人 李愛民
地址 102600北京市大興區(qū)北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)科創(chuàng)十四街20號院10號樓1至4層3
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及光刻膠技術(shù)領(lǐng)域，具體公開了一種光刻膠用酚醛樹脂及其制備方法。所述制備方法包括制備步驟和純化步驟，制備步驟：單羥基甲酚、多羥基苯酚和醛類化合物在酸性催化劑和水的條件下進(jìn)行反應(yīng)，得到反應(yīng)液；純化步驟：首先中和劑中和反應(yīng)液，并分出水相；然后進(jìn)行水洗處理，并分出水相；最后在35~80℃溫度下進(jìn)行干燥，得到光刻膠用酚醛樹脂。所述光刻膠用酚醛樹脂是由上述制備方法制備而得。本申請通過在酚醛樹脂的結(jié)構(gòu)中適當(dāng)引入多羥基苯酚，提高酚醛樹脂的耐熱性，進(jìn)而提高光刻膠的感光靈敏度、分辨率和反差，同時(shí)還可以調(diào)節(jié)酚醛樹脂的堿溶解速率。