介質(zhì)隔離式壓力傳感器及其制造方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110886175.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113483944A 公開（公告）日 2021-10-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN113483944A 申請(qǐng)公布日 2021-10-08
分類號(hào) G01L19/14（2006.01）I;G01L19/06（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 張兵兵 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 昆山靈科傳感技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海盈盛知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 孫佳胤;高翠花
地址 215300 江蘇省蘇州市昆山開發(fā)區(qū)前進(jìn)東路88號(hào)6號(hào)樓M1A棟2樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種介質(zhì)隔離式壓力傳感器及其制造方法，介質(zhì)隔離式壓力傳感器包括：基板；殼體，包括側(cè)壁及頂蓋，所述側(cè)壁與所述頂蓋密封連接，所述側(cè)壁由硬質(zhì)材料制成，所述頂蓋由柔性材料制成，所述殼體扣合在所述基板上，形成容納腔；至少一壓力傳感器芯片，固定在所述基板上，且置于所述容納腔內(nèi)；介質(zhì)液體，充滿所述容納腔，外界壓力能夠通過所述殼體、所述介質(zhì)液體傳導(dǎo)至所述壓力傳感器芯片。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于，殼體包括由硬質(zhì)材料構(gòu)成的側(cè)壁及柔性材料構(gòu)成的頂蓋，能夠平衡測(cè)量精度及支撐力，兼顧了可靠性，也保證了介質(zhì)隔離式壓力傳感器的輸出，能夠避免單一殼體材質(zhì)帶來的缺點(diǎn)，大大提高了介質(zhì)隔離式壓力傳感器的性能。