連續(xù)真空等離子蒸發(fā)金屬復(fù)合材料生產(chǎn)線

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200910031800.9 申請日 -
公開（公告）號 CN101608301A 公開（公告）日 2009-12-23
申請公布號 CN101608301A 申請公布日 2009-12-23
分類號 C23C14/56(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I;C23C14/14(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 楊建如;楊建強;楊建棟;楊建豐 申請（專利權(quán)）人 江蘇常松機械集團有限公司
代理機構(gòu) 常州市維益專利事務(wù)所 代理人 王凌霄
地址 213023江蘇省常州市鐘樓區(qū)經(jīng)濟開發(fā)區(qū)星港路CI地塊
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及金屬鍍膜領(lǐng)域，尤其是一種連續(xù)真空等離子蒸發(fā)金屬復(fù)合材料生產(chǎn)線，具有真空室，真空室包括入口段、工藝段和出口段，工藝段依次包括進口鎖段、加熱預(yù)抽段、反濺射去污段、離子束活化段、等離子體復(fù)合段和出口鎖段，進口鎖段設(shè)置有進口真空鎖，加熱預(yù)抽段設(shè)置有加熱系統(tǒng)和排氣系統(tǒng)，反濺射去污段設(shè)置有反濺射去污系統(tǒng)，離子束活化段設(shè)置有離子束活化系統(tǒng)，等離子體復(fù)合段設(shè)置有真空蒸發(fā)離子復(fù)合系統(tǒng)、進氣系統(tǒng)和排氣系統(tǒng)，出口鎖段設(shè)置有出口真空鎖，真空蒸發(fā)離子復(fù)合系統(tǒng)設(shè)置有兩個蒸發(fā)復(fù)合室。本發(fā)明的優(yōu)點是降低了能耗，提高了復(fù)合的效率。