一種氣相外延系統(tǒng)及其維護(hù)操作方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110845193.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN113604875A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-11-05 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113604875A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-11-05 |
| 分類(lèi)號(hào) | C30B25/08（2006.01）I;C30B25/12（2006.01）I;C30B25/10（2006.01）I;C30B29/40（2006.01）I | 分類(lèi) | 晶體生長(zhǎng)〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 林桂榮 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 楚赟精工科技（上海）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海光華專(zhuān)利事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 余明偉 |
| 地址 | 201400上海市浦東新區(qū)中國(guó)（上海）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)張江路665號(hào)三層 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供一種氣相外延系統(tǒng)及其維護(hù)操作方法。外延系統(tǒng)包括載盤(pán)支撐裝置、載盤(pán)、第一蓋體、第二蓋體、內(nèi)腔室、外腔室、排氣室；載盤(pán)支撐裝置穿過(guò)第一蓋體和第二蓋體，第一蓋體與載盤(pán)支撐裝置連接；載盤(pán)設(shè)置于載盤(pán)支撐裝置的頂部；內(nèi)腔室的一端設(shè)有供氣系統(tǒng)，另一端設(shè)有開(kāi)口，載盤(pán)支撐裝置可移動(dòng)地設(shè)置于內(nèi)腔室中；外腔室設(shè)于內(nèi)腔室外部；排氣室與外腔室堆疊設(shè)置，設(shè)于外腔室的一端，排氣室與外腔室密封隔離，內(nèi)腔室與排氣室連通；排氣室遠(yuǎn)離供氣系統(tǒng)的一端設(shè)有開(kāi)口，內(nèi)腔室可移動(dòng)地設(shè)置于外腔室和排氣室中。本發(fā)明的氣相外延系統(tǒng)通過(guò)引入內(nèi)腔室和載盤(pán)支撐裝置的雙升降結(jié)構(gòu)，簡(jiǎn)化了維護(hù)流程，提高了設(shè)備稼動(dòng)率和良率。 |
