一種氣相外延系統(tǒng)及其維護(hù)操作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110845177.1 申請日 -
公開（公告）號 CN113604873A 公開（公告）日 2021-11-05
申請公布號 CN113604873A 申請公布日 2021-11-05
分類號 C30B25/08（2006.01）I;C30B25/12（2006.01）I;C30B25/10（2006.01）I;C30B28/14（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 林桂榮 申請（專利權(quán)）人 楚赟精工科技（上海）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海光華專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 余明偉
地址 201400上海市浦東新區(qū)中國（上海）自由貿(mào)易試驗區(qū)張江路665號三層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種氣相外延系統(tǒng)，包括載盤支撐裝置、蓋體、反應(yīng)室和頂蓋組件；載盤支撐裝置穿過蓋體，蓋體與載盤支撐裝置連接；反應(yīng)室包括內(nèi)腔室和外腔室，內(nèi)腔室設(shè)置于外腔室中；頂蓋組件位于反應(yīng)室的一端部，包括進(jìn)氣管路和進(jìn)氣法蘭，進(jìn)氣法蘭與外腔室通過緊固裝置連接，進(jìn)氣管路與內(nèi)腔室相通以向內(nèi)腔室供氣；內(nèi)腔室遠(yuǎn)離頂蓋組件的另一端設(shè)有開口，蓋體用于對內(nèi)腔室的開口進(jìn)行氣密性開閉，載盤支撐裝置可移動地設(shè)置于內(nèi)腔室中；反應(yīng)室可通過蓋體隨載盤支撐裝置移動，從而實現(xiàn)頂蓋組件與反應(yīng)室之間的閉合。本發(fā)明提供的氣相外延系統(tǒng)通過引入反應(yīng)室和載盤支撐裝置的雙升降結(jié)構(gòu)，可以在不同工況下從不同位置開啟腔體，便于設(shè)備維護(hù)，簡化維護(hù)流程。