一種高速高精旋轉(zhuǎn)升降聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201711078934.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN107991595B 公開（公告）日 2020-12-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN107991595B 申請(qǐng)公布日 2020-12-04
分類號(hào) G01R31/26 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 吳濤;婁玉仙 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 廣州高譜技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 廣州高譜技術(shù)有限公司;汕頭大學(xué)
地址 510000 廣東省廣州市黃埔區(qū)瑞和路39號(hào)H3座701至728號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明實(shí)施例公開了一種高速高精旋轉(zhuǎn)升降聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)，包括下升降機(jī)構(gòu)與上旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，所述下升降機(jī)構(gòu)包括升降驅(qū)動(dòng)裝置、絲桿、絲桿座，所述升降驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述絲桿帶動(dòng)所述絲桿座升降；所述上旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括旋轉(zhuǎn)軸承、與所述絲桿座固定連接的旋轉(zhuǎn)軸承座、設(shè)置于所述旋轉(zhuǎn)軸承座與所述基座之間的至少一個(gè)垂直滑軌機(jī)構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)軸承連接有旋轉(zhuǎn)大同步輪，所述旋轉(zhuǎn)大同步輪由旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)。本發(fā)明采用升降軸在下方，旋轉(zhuǎn)在上方的結(jié)構(gòu)形式，充分利用了晶圓檢測(cè)工藝中升降為主動(dòng)作，旋轉(zhuǎn)為輔動(dòng)作的工藝特點(diǎn)；本發(fā)明還利用倒置驅(qū)動(dòng)的絲桿螺母方法，軸向精度控制面取決于配對(duì)使用的軸向滑軌，易于實(shí)現(xiàn)大尺寸晶圓的平面度控制，有效地改善了整體系統(tǒng)的控制特性。