寬光譜干涉顯微測量方法、裝置、電子設備及介質

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210160959.6 申請日 -
公開(公告)號 CN114608472A 公開(公告)日 2022-06-10
申請公布號 CN114608472A 申請公布日 2022-06-10
分類號 G01B11/24(2006.01)I;G01B11/06(2006.01)I 分類 測量;測試;
發(fā)明人 張為國;孫艷林;熊欣;鄧曉洲;杜春雷 申請(專利權)人 珠海邁時光電科技有限公司
代理機構 廣州嘉權專利商標事務所有限公司 代理人 -
地址 519000廣東省珠海市香洲區(qū)珠海大道4333號7棟1層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種寬光譜干涉顯微測量方法、裝置、電子設備及介質,該寬光譜干涉顯微測量方法包括:獲取待測樣品的干涉圖;確定干涉圖的調制度,通過調制度標識干涉圖的第一區(qū)域,第一區(qū)域用于表征符合設定閾值的相位展開區(qū)域;對第一區(qū)域執(zhí)行相位展開,得到干涉圖多個焦面的真實相位圖;對多個焦面的真實相位圖相位拼接,得到干涉圖的相位分布;根據(jù)相位分布確定待測樣品的表面高度分布。本發(fā)明的有益效果為:以干涉條紋調制度量化條紋質量,以相位展開方法獲得在設定區(qū)域的樣品高度分布;將不同焦面位置獲取的樣品高度進行拼接,可獲得擴展量程的高精度形貌測量結果,適用用于高精度、大量程寬光譜干涉顯微測量。