光刻機(jī)照度均勻度的檢測(cè)方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201911018556.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN110824859A 公開（公告）日 2020-02-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN110824859A 申請(qǐng)公布日 2020-02-21
分類號(hào) G03F7/20 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 王鄉(xiāng) 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 珠海邁時(shí)光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州嘉權(quán)專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 葉琦煒
地址 519000 廣東省珠海市香洲區(qū)南屏科技工業(yè)園屏東六路1號(hào)9號(hào)樓第二層205、206房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及光刻機(jī)技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種光刻機(jī)照度均勻度的檢測(cè)方法，夠?qū)φ彰娴恼斩染鶆蚨冗M(jìn)行快速地精準(zhǔn)檢測(cè)。本發(fā)明包括以下步驟：S100、選取m×m個(gè)探測(cè)器單元，以其中一個(gè)探測(cè)器單元作為基準(zhǔn)探測(cè)器單元對(duì)其余探測(cè)器單元的輸出電壓值進(jìn)行修正；S200、將m×m個(gè)探測(cè)器單元以m×m的陣列方式均勻分布于光刻機(jī)的照面上；S300、啟動(dòng)光刻機(jī)的照明系統(tǒng)，m×m個(gè)探測(cè)器單元分別測(cè)量照面對(duì)應(yīng)不同點(diǎn)的光功率值，得到對(duì)應(yīng)的m×m個(gè)電壓值；S400、在m×m個(gè)電壓值中選取最大電壓值Umax和最小電壓值Umin并代入照度均勻度計(jì)算公式中，得出當(dāng)前光功率值下的照度均勻度。本發(fā)明通過陣列式的檢測(cè)方法有效地提高了檢測(cè)效率，同時(shí)對(duì)探測(cè)器單元進(jìn)行統(tǒng)一地修正，有效地提高了檢測(cè)結(jié)果的精準(zhǔn)度。