掩膜裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201921634873.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN210514931U 公開(kāi)（公告）日 2020-05-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN210514931U 申請(qǐng)公布日 2020-05-12
分類(lèi)號(hào) G03F1/64 分類(lèi) 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類(lèi)似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 王鄉(xiāng) 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 珠海邁時(shí)光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州嘉權(quán)專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 葉琦煒
地址 519000 廣東省珠海市香洲區(qū)南屏科技工業(yè)園屏東六路1號(hào)9號(hào)樓第二層205、206房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及顯示面板曝光技術(shù)領(lǐng)域，公開(kāi)了一種掩膜裝置，解決了無(wú)需取下掩膜架，則可實(shí)現(xiàn)掩膜板的直接更換。本實(shí)用新型包括：掩膜架，設(shè)有用于吸附待加工件的真空吸附孔；框架，與所述掩膜架轉(zhuǎn)動(dòng)連接，使所述掩膜架在所述框架內(nèi)翻轉(zhuǎn)。本實(shí)用新型利用掩膜架與框架的轉(zhuǎn)動(dòng)連接，可使掩膜架直接在框架上實(shí)現(xiàn)翻轉(zhuǎn)，則在更換待加工件時(shí)，無(wú)需將掩膜架取下，只要翻轉(zhuǎn)掩膜架，即可在框架上對(duì)待加工件進(jìn)行更換，不僅簡(jiǎn)化了待加工件更換的操作流程，同時(shí)還可避免對(duì)掩膜架造成污染，避免了影響成品質(zhì)量，從而提高了成品合格率。