一種腔內(nèi)晶圓尋心系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022645745.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN213242521U 公開（公告）日 2021-05-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN213242521U 申請(qǐng)公布日 2021-05-18
分類號(hào) H01L21/68;H01L21/67 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 邱勇;張鵬兵;陳世名 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海諳邦半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 201306 上海市浦東新區(qū)環(huán)湖西二路888號(hào)C樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種腔內(nèi)晶圓尋心系統(tǒng)，包括：主體腔；位于主體腔內(nèi)的晶圓夾持平臺(tái)，晶圓夾持平臺(tái)的表面適于放置晶圓；貫穿晶圓夾持平臺(tái)的若干位移孔；分別位于位移孔中的頂針，頂針適于在位移孔中往復(fù)移動(dòng)，使頂針的頂頭在高于晶圓夾持平臺(tái)的上表面的位置至低于晶圓夾持平臺(tái)的上表面的位置之間變化；若干光學(xué)定位單元，各個(gè)光學(xué)定位單元包括：光學(xué)探測(cè)部件；光學(xué)接收部件，光學(xué)探測(cè)部件適于向光學(xué)接收部件發(fā)射探測(cè)光，探測(cè)光適于部分照射在主體腔中的晶圓的邊緣；修正單元，修正單元適于根據(jù)光學(xué)接收部件獲取的光信息修正晶圓的位置。所述腔內(nèi)晶圓尋心系統(tǒng)能夠精確定位晶圓在主體腔中的位置，提高工藝重復(fù)性。