一種單晶金剛石外延的晶種托
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021239421.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN212640659U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-03-02 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212640659U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-03-02 |
| 分類號(hào) | C30B25/12(2006.01)I;C30B29/04(2006.01)I | 分類 | 晶體生長(zhǎng)〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 趙效銘;閆石 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 物生生物科技（北京）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京科迪生專利代理有限責(zé)任公司 | 代理人 | 安麗 |
| 地址 | 101320北京市順義區(qū)仁和鎮(zhèn)林河北大街21號(hào)院1幢5層2單元606 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及一種單晶金剛石外延的晶種托，用于提高微波等離子體化學(xué)氣相沉積方法外延生長(zhǎng)單晶金剛石的工藝控制精度和生長(zhǎng)質(zhì)量，單晶金剛石不同晶面的生長(zhǎng)優(yōu)先級(jí)受生長(zhǎng)溫度影響，實(shí)現(xiàn)0.5攝氏度的溫控精度，控溫范圍達(dá)200攝氏度。晶種托整體為圓盤狀，上表面中部有方形槽，方形槽用于放置晶種，上表面外部有環(huán)形槽，環(huán)形槽用于放置等離子體約束罩，晶種托下表面有開(kāi)口朝下的控溫槽，所述控溫槽形狀為圓柱形，所述控溫槽可與導(dǎo)熱桿相接，所述導(dǎo)熱桿內(nèi)有冷卻水路，且導(dǎo)熱桿下部連接升降軸，可用于調(diào)節(jié)與控溫槽的接觸面積。本實(shí)用新型能夠在保證生長(zhǎng)環(huán)境壓強(qiáng)和氣體比例等相匹配的情況下，依據(jù)工藝需求調(diào)節(jié)溫度和功率。?? |
