一種三級蒸發(fā)高速卷對卷真空鋰薄膜生產(chǎn)裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911359791.6 申請日 -
公開（公告）號 CN111058000B 公開（公告）日 2022-06-24
申請公布號 CN111058000B 申請公布日 2022-06-24
分類號 C23C14/14;C23C14/24;C23C14/56;C23C14/54 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 李立飛 申請（專利權(quán)）人 復陽固態(tài)儲能科技（溧陽）有限公司
代理機構(gòu) 天津企興智財知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 邢月
地址 213300 江蘇省常州市溧陽市昆侖街道創(chuàng)智路23號101室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種三級蒸發(fā)高速卷對卷真空鋰薄膜生產(chǎn)裝置，包括機架，所述的機架內(nèi)設置有第一隔板與第二隔板，第一隔板與第二隔板均縱向設置，所述的第一隔板與第二隔板上均設置有一個位置相對應的窗口，所述的第一隔板與第二隔板將所述的機架的內(nèi)部依次分隔為放卷腔、第一鍍膜腔、收卷腔，基膜通過所述的窗口自放卷腔穿行至收卷腔。本發(fā)明所述的三級蒸發(fā)高速卷對卷真空鋰薄膜生產(chǎn)裝置通過三級蒸發(fā)結(jié)構(gòu)的蒸發(fā)系統(tǒng)完成輸運及蒸發(fā)鋰，改善沉積鋰薄膜的高溫度現(xiàn)象與薄膜的均勻性。