芯片CP測試中DELP系列探針臺驅(qū)動配置方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011515315.1 申請日 -
公開（公告）號 CN112666448A 公開（公告）日 2021-04-16
申請公布號 CN112666448A 申請公布日 2021-04-16
分類號 G01R31/28 分類 測量；測試;
發(fā)明人 王銳;婁建和;吳彩平 申請（專利權(quán)）人 江蘇艾科半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京申云知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 田沛沛;邱興天
地址 212000 江蘇省鎮(zhèn)江市潘宗路166號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種芯片CP測試中DELP系列探針臺驅(qū)動配置方法，包括歸類針卡分布圖，為每一類分布圖配置對應(yīng)的驅(qū)動程序；根據(jù)歸類情形制作包含所有驅(qū)動程序的列表和批處理文件；執(zhí)行批處理文件，選擇驅(qū)動程序編號，批處理程序則自動向測試機(jī)主機(jī)操作系統(tǒng)注冊所用的探針臺驅(qū)動；空跑CP測試，得到探針臺晶芯坐標(biāo)和測試機(jī)晶芯坐標(biāo)，進(jìn)行坐標(biāo)比對，確認(rèn)無誤后，進(jìn)行晶圓CP量產(chǎn)測試。采用本發(fā)明的驅(qū)動配置方法，可保證CP測試坐標(biāo)完全匹配、測試機(jī)臺從探針臺可獲取正確的晶圓位置坐標(biāo)，進(jìn)而可以正常進(jìn)行芯片晶圓的CP測試；采用一個批處理即可處理9類驅(qū)動注冊的方式，簡化了操作人員的操作，且節(jié)省測試成本。