微型發(fā)光二極管外延片的生長(zhǎng)方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202011040907.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN112164739B 公開(kāi)（公告）日 2021-10-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN112164739B 申請(qǐng)公布日 2021-10-08
分類號(hào) H01L33/00;C23C16/44 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 姚振;從穎;董彬忠;李鵬 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 華燦光電（蘇州）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京三高永信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 代理人 呂耀萍
地址 215600 江蘇省蘇州市張家港市經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)晨豐公路28號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本公開(kāi)提供了一種微型發(fā)光二極管外延片的生長(zhǎng)方法，生長(zhǎng)方法包括：在襯底上生長(zhǎng)外延層；在襯底上生長(zhǎng)外延層時(shí)，在反應(yīng)腔腔蓋通入吹掃氣體，將反應(yīng)腔內(nèi)產(chǎn)生的副產(chǎn)物吹掃到反應(yīng)腔的尾氣端，使副產(chǎn)物排到反應(yīng)腔外；吹掃氣體的使用量與各層生長(zhǎng)所需的MO源使用量、各層生長(zhǎng)所需的反應(yīng)氣體的流量、各層的生長(zhǎng)厚度、各層摻雜濃度均呈正相關(guān)；吹掃氣體的使用量還與外延層各層的生長(zhǎng)階段相關(guān)，外延層各層的生長(zhǎng)階段分為初始生長(zhǎng)階段、中間生長(zhǎng)階段和結(jié)束生長(zhǎng)階段，吹掃氣體在中間生長(zhǎng)階段時(shí)的使用量大于在初始生長(zhǎng)階段和結(jié)束生長(zhǎng)階段時(shí)的使用量。該生長(zhǎng)方法可以減少外延片生長(zhǎng)過(guò)程中表面顆粒物的產(chǎn)生，形成優(yōu)良表面，保證微型發(fā)光二極管的發(fā)光效果。