一種用于安裝水平磁場(chǎng)單晶爐的爐外裝料裝置和方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210362850.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114622273A 公開（公告）日 2022-06-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN114622273A 申請(qǐng)公布日 2022-06-14
分類號(hào) C30B15/02（2006.01）I;C30B30/04（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 蘇波;溫洋;周小淵;馬占東;董長海;吳建成;高劍濤;沙彥文;陳娟;賀俊杰 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 寧夏中晶半導(dǎo)體材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 寧波海曙甬睿專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 755100寧夏回族自治區(qū)中衛(wèi)市中寧縣新堡鎮(zhèn)團(tuán)結(jié)南路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種用于安裝水平磁場(chǎng)單晶爐的爐外裝料裝置，屬于單晶爐技術(shù)領(lǐng)域，其技術(shù)方案要點(diǎn)包括支撐座，所述支撐座的頂部設(shè)置有旋轉(zhuǎn)組件，所述旋轉(zhuǎn)組件的頂部固定安裝有軸承端蓋，所述旋轉(zhuǎn)組件的外側(cè)設(shè)置有電動(dòng)推桿，所述電動(dòng)推桿的活動(dòng)端和旋轉(zhuǎn)組件的外側(cè)設(shè)置有吊臂。本發(fā)明軸套通過滾子軸承進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，對(duì)吊臂的角度進(jìn)行調(diào)整，通過控制電動(dòng)推桿進(jìn)行伸縮，對(duì)坩堝的水平角度進(jìn)行調(diào)整，通過吸盤將坩堝吸附，整體靈活性強(qiáng)，采用機(jī)械的方式代替?zhèn)鹘y(tǒng)人工裝料的方式，降低了工作人員的勞動(dòng)強(qiáng)度，且縮短了裝料時(shí)間，極大的提升了工作效率，同時(shí)，在工裝料過程中不會(huì)摩擦石墨件與石墨氈，避免造成原料內(nèi)混入碳粉。