一種改善小角晶界缺陷的新型引晶方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210538760.2 申請日 -
公開（公告）號 CN114672874A 公開（公告）日 2022-06-28
申請公布號 CN114672874A 申請公布日 2022-06-28
分類號 C30B15/10（2006.01）I;C30B15/20（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 陳娟;周志鵬;馬占東;蘇波;周小淵;溫洋;賀俊杰;董長海 申請（專利權(quán)）人 寧夏中晶半導(dǎo)體材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 寧波海曙甬睿專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 755100寧夏回族自治區(qū)中衛(wèi)市中寧縣新堡鎮(zhèn)團(tuán)結(jié)南路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及小角晶界技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種改善小角晶界缺陷的新型引晶方法，包括整個(gè)引晶過程有三次縮徑過程，為非連續(xù)縮徑過程，所述第一次縮徑過程拉速調(diào)控放葫蘆狀結(jié)節(jié)，經(jīng)第二次縮徑過程達(dá)到縮徑目標(biāo)直徑，拉速調(diào)控實(shí)現(xiàn)第二次葫蘆晶結(jié)節(jié)。該改善小角晶界缺陷的新型引晶方法，在使用CZ法拉制重?fù)脚鹁蚬鑶尉н^程中，因摻雜濃度影響及拉制工藝限制，小角晶界缺陷成為行業(yè)難題，在減少過冷度的基礎(chǔ)上改進(jìn)引晶方法，固化拉晶工藝，突破小角晶界缺陷障礙，引晶方式采用葫蘆晶有效的排除籽晶內(nèi)部缺陷，保障晶體制成過程中原子有序排列，且在整個(gè)制成過程中提拉速度需平穩(wěn)緩慢，頻繁波動(dòng)亦會(huì)影響固液界面翻轉(zhuǎn)位錯(cuò)增殖進(jìn)而產(chǎn)生小角晶界。