一種用于CZ法拉制硅單晶的通用夾頭裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202020408190.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN211921745U | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-11-13 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN211921745U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-11-13 |
| 分類(lèi)號(hào) | C30B15/32(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分類(lèi) | 晶體生長(zhǎng)〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 陳娟;王思遠(yuǎn);周小淵;柯小龍;馬占東;周志鵬;蘇波;董長(zhǎng)海 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 寧夏中晶半導(dǎo)體材料有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 銀川長(zhǎng)征知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 | 代理人 | 馬長(zhǎng)增;姚源 |
| 地址 | 755100寧夏回族自治區(qū)中衛(wèi)市中寧新堡鎮(zhèn)團(tuán)結(jié)南路 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 一種用于CZ法拉制硅單晶的通用夾頭裝置,夾頭本體從上往下呈圓柱狀結(jié)構(gòu)，底端部位設(shè)為錐形結(jié)構(gòu)；所述夾頭本體沿軸向中心部位開(kāi)設(shè)有通孔，從上往下依次為重錘安裝孔、籽晶安裝孔和籽晶定位孔；所述夾頭本體沿籽晶安裝孔和籽晶定位孔位置開(kāi)設(shè)有貫通外壁的籽晶安裝口；所述夾頭本體沿外壁上下位置分別開(kāi)設(shè)有貫通籽晶安裝孔的拉晶觀察孔和透氣孔；所述夾頭本體沿外壁水平方向開(kāi)設(shè)有貫通籽晶定位孔的籽晶固定孔；所述夾頭本體沿外壁兩側(cè)對(duì)稱(chēng)設(shè)置有夾持口。益效果在于：安裝和拆卸大小頭錐形籽晶的過(guò)程中不需要取下石墨夾頭，直接通過(guò)夾頭側(cè)方的籽晶安裝口即可拆卸安裝籽晶，減少了重錘及夾頭的拆卸磨損，對(duì)生產(chǎn)而言，簡(jiǎn)化了籽晶加料步驟，降低了生產(chǎn)成本。?? |
